华夏中证半导体材料设备主题ETF 报告期末总份额 5.37 亿份，比上期增加 82.75% , 期末净资产 8.79 亿元，比上期增加 169.72% 。
| 报告日期 | 期间申购（亿份） | 期间赎回（亿份） | 期末总份额（亿份） | 总份额变动率（%） | 期末净资产（亿元） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-09-30 | 4.99 | 2.56 | 5.37 | 82.75 | 8.79 |
| 2025-06-30 | 0.65 | 0.86 | 2.94 | -6.67 | 3.26 |
| 2025-03-31 | 0.99 | 1.55 | 3.15 | -15.11 | 3.42 |
| 2024-12-31 | 4.26 | 1.44 | 3.71 | 318.06 | 3.90 |
| 2024-09-30 | 0.43 | 0.24 | 0.89 | 27.27 | 0.88 |
| 2024-06-30 | 0.39 | 0.22 | 0.70 | 32.28 | 0.59 |
| 2024-03-31 | 1.15 | 0.91 | 0.53 | 83.73 | 0.46 |
| 2023-12-31 | 0.19 | 2.20 | 0.29 | 0.28 |