国泰中证细分机械设备产业主题ETF 的基金机构持有 0.05亿份，占总份额的 24.63% ，个人投资者持有 0.14 亿份，占总份额的 75.37%
| 报告日期 | 机构持有份额（亿份） | 机构持有比例（%） | 个人持有份额（亿份） | 个人持有比例（%） | 总份额（亿份） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-06-30 | 0.05 | 24.63 | 0.14 | 75.37 | 0.19 |
| 2024-12-31 | 0.07 | 32.01 | 0.16 | 67.99 | 0.23 |
| 2024-06-30 | 0.16 | 35.20 | 0.29 | 64.80 | 0.44 |
| 2023-12-31 | 0.15 | 17.33 | 0.35 | 40.38 | 0.87 |
| 2023-06-30 | 0.21 | 25.73 | 0.31 | 37.90 | 0.81 |
| 2022-12-31 | 0.30 | 32.28 | 0.17 | 18.47 | 0.94 |
| 2022-06-30 | 0.46 | 59.15 | 0.10 | 13.01 | 0.78 |
| 2021-12-31 | 0.48 | 59.06 | 0.11 | 13.94 | 0.81 |