半导体龙头ETF 的基金机构持有 0.66亿份，占总份额的 21.89% ，个人投资者持有 2.34 亿份，占总份额的 78.11%
| 报告日期 | 机构持有份额（亿份） | 机构持有比例（%） | 个人持有份额（亿份） | 个人持有比例（%） | 总份额（亿份） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-06-30 | 0.66 | 21.89 | 2.34 | 78.11 | 3.00 |
| 2024-12-31 | 0.25 | 7.84 | 2.92 | 92.16 | 3.17 |
| 2024-06-30 | 0.30 | 7.52 | 3.64 | 92.48 | 3.94 |
| 2023-12-31 | 0.30 | 6.43 | 4.41 | 93.57 | 4.72 |
| 2023-06-30 | 0.65 | 11.73 | 4.88 | 88.27 | 5.53 |