华夏中证半导体材料设备主题ETF 的基金机构持有 2.61亿份，占总份额的 53.24% ，个人投资者持有 2.29 亿份，占总份额的 46.75%
| 报告日期 | 机构持有份额（亿份） | 机构持有比例（%） | 个人持有份额（亿份） | 个人持有比例（%） | 总份额（亿份） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 2.61 | 53.24 | 2.29 | 46.75 | 4.90 |
| 2025-06-30 | 0.97 | 33.00 | 1.97 | 67.01 | 2.94 |
| 2024-12-31 | 0.99 | 26.58 | 2.72 | 73.42 | 3.71 |
| 2024-06-30 | 0.05 | 7.09 | 0.40 | 56.91 | 0.70 |
| 2023-12-31 | 0.06 | 20.06 | 0.23 | 79.94 | 0.29 |