据同花顺（300033）iFinD数据，9月30日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额较前一日增长9300.00万份，环比增长1.05%，资金流入1.71亿元，资金流出1.67亿元。该基金最近一周跌6.25%，近一个月下跌7.25%。
数据显示，该基金成立于2023年10月9日，基金经理为余昊、单宽之，基金跟踪指数为半导体材料（884091）设备，业绩比较基准为中证半导体材料（884091）设备主题指数收益率，最新披露的定期数据显示，截止2026年6月30日，该基金第一大重仓股中微公司（688012），持股数267.91万股，持仓市值125517.47万元。
具体前十大重仓股如下表所示：
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| 基金前十重仓股（按占净值比例）一览表 | ||||
| 股票简称 | 股票代码 | 持股数（万股） | 持仓市值（万元） | 占净值比例（%） |
|---|---|---|---|---|
| 中微公司（688012） | 688012 | 267.91 | 125517.47 | 15.090 |
| 北方华创（002371） | 002371 | 125.52 | 111026.43 | 13.350 |
| 长川科技（300604） | 300604 | 159.78 | 54552.09 | 6.560 |
| 拓荆科技（688072） | 688072 | 62.98 | 52395.78 | 6.300 |
| 华海清科（688120） | 688120 | 139.31 | 44884.44 | 5.400 |
| 中科飞测（688361） | 688361 | 87.37 | 37567.94 | 4.520 |
| 江丰电子（300666） | 300666 | 76.60 | 28234.76 | 3.390 |
| 华峰测控（688200） | 688200 | 49.99 | 26251.80 | 3.160 |
| 芯源微（688037） | 688037 | 57.33 | 25172.19 | 3.030 |
| 沪硅产业（688126） | 688126 | 588.24 | 23464.85 | 2.820 |
（数据来源：同花顺（300033）iFinD）
