据同花顺（300033）iFinD数据，9月30日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）份额较前一日减少4.29亿份，环比下降0.7%，资金流入9.16亿元，资金流出11.67亿元。该基金最近一周跌6.23%，近一个月下跌7.17%。
数据显示，该基金成立于2023年7月19日，基金经理为艾小军，基金跟踪指数为半导体材料（884091）设备，业绩比较基准为中证半导体材料（884091）设备主题指数收益率，最新披露的定期数据显示，截止2026年6月30日，该基金第一大重仓股中微公司（688012），持股数1423.61万股，持仓市值666787.77万元。
具体前十大重仓股如下表所示：
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| 基金前十重仓股（按占净值比例）一览表 | ||||
| 股票简称 | 股票代码 | 持股数（万股） | 持仓市值（万元） | 占净值比例（%） |
|---|---|---|---|---|
| 中微公司（688012） | 688012 | 1423.61 | 666787.77 | 15.100 |
| 北方华创（002371） | 002371 | 665.91 | 589041.42 | 13.340 |
| 长川科技（300604） | 300604 | 836.91 | 285413.57 | 6.460 |
| 拓荆科技（688072） | 688072 | 341.29 | 283949.79 | 6.430 |
| 华海清科（688120） | 688120 | 752.69 | 242502.50 | 5.490 |
| 中科飞测（688361） | 688361 | 463.94 | 199493.13 | 4.520 |
| 江丰电子（300666） | 300666 | 404.10 | 148950.41 | 3.370 |
| 华峰测控（688200） | 688200 | 263.93 | 138590.38 | 3.140 |
| 芯源微（688037） | 688037 | 307.60 | 135052.35 | 3.060 |
| 沪硅产业（688126） | 688126 | 3134.16 | 125021.49 | 2.830 |
（数据来源：同花顺（300033）iFinD）
