国泰中证半导体材料设备主题ETF 的基金机构持有 10.69亿份，占总份额的 46.37% ，个人投资者持有 12.37 亿份，占总份额的 53.63%
| 报告日期 | 机构持有份额（亿份） | 机构持有比例（%） | 个人持有份额（亿份） | 个人持有比例（%） | 总份额（亿份） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-06-30 | 10.69 | 46.37 | 12.37 | 53.63 | 23.06 |
| 2024-12-31 | 3.02 | 18.00 | 13.78 | 82.01 | 16.81 |
| 2024-06-30 | 2.45 | 26.36 | 6.85 | 73.64 | 9.30 |
| 2023-12-31 | 2.40 | 25.05 | 6.92 | 72.33 | 9.57 |