国泰中证半导体材料设备主题ETF 报告期末总份额 53.19 亿份，比上期增加 130.68% , 期末净资产 82.99 亿元，比上期增加 240.64% 。
| 报告日期 | 期间申购（亿份） | 期间赎回（亿份） | 期末总份额（亿份） | 总份额变动率（%） | 期末净资产（亿元） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-09-30 | 62.29 | 32.16 | 53.19 | 130.68 | 82.99 |
| 2025-06-30 | 14.28 | 11.54 | 23.06 | 13.49 | 24.36 |
| 2025-03-31 | 16.67 | 13.16 | 20.32 | 20.89 | 21.00 |
| 2024-12-31 | 16.17 | 9.72 | 16.81 | 62.28 | 16.85 |
| 2024-09-30 | 4.11 | 3.05 | 10.36 | 11.40 | 9.77 |
| 2024-06-30 | 5.20 | 4.39 | 9.30 | 9.55 | 7.46 |
| 2024-03-31 | 4.80 | 5.88 | 8.49 | -11.29 | 7.10 |
| 2023-12-31 | 5.20 | 4.13 | 9.57 | 12.59 | 8.69 |