国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接C 的基金机构持有 0.06亿份，占总份额的 1.59% ，个人投资者持有 3.58 亿份，占总份额的 98.41%
| 报告日期 | 机构持有份额（亿份） | 机构持有比例（%） | 个人持有份额（亿份） | 个人持有比例（%） | 总份额（亿份） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 0.06 | 1.59 | 3.58 | 98.41 | 3.64 |
| 2025-06-30 | 0.02 | 4.93 | 0.46 | 95.07 | 0.49 |
| 2024-12-31 | 0.02 | 3.99 | 0.58 | 96.01 | 0.60 |
| 2024-06-30 | 0.02 | 12.27 | 0.17 | 87.73 | 0.19 |
| 2023-12-31 | 0.00 | 0.65 | 0.15 | 99.35 | 0.15 |