国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A 的基金机构持有 0.10亿份，占总份额的 45.46% ，个人投资者持有 0.12 亿份，占总份额的 54.54%
| 报告日期 | 机构持有份额（亿份） | 机构持有比例（%） | 个人持有份额（亿份） | 个人持有比例（%） | 总份额（亿份） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-06-30 | 0.10 | 45.46 | 0.12 | 54.54 | 0.22 |
| 2024-12-31 | 0.10 | 47.79 | 0.11 | 52.21 | 0.21 |
| 2024-06-30 | 0.10 | 78.92 | 0.03 | 21.08 | 0.13 |
| 2023-12-31 | 0.10 | 92.55 | 0.01 | 7.45 | 0.11 |