广发中证半导体材料设备ETF 的基金机构持有 6.28亿份，占总份额的 71.92% ，个人投资者持有 2.45 亿份，占总份额的 28.08%
| 报告日期 | 机构持有份额（亿份） | 机构持有比例（%） | 个人持有份额（亿份） | 个人持有比例（%） | 总份额（亿份） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 6.28 | 71.92 | 2.45 | 28.08 | 8.73 |
| 2025-06-30 | 1.03 | 62.82 | 0.61 | 37.18 | 1.64 |
| 2024-12-31 | 0.94 | 44.57 | 1.17 | 55.43 | 2.11 |
| 2024-06-30 | 0.40 | 37.44 | 0.67 | 62.56 | 1.07 |