5月21日，芯片板块冲高回落，截至午间收盘，中证芯片产业指数上涨0.1%，上证科创板芯片设计主题指数下跌0.8%，中证半导体材料（884091）设备主题指数下跌1.0%，上证科创板芯片指数下跌1.1%。相关ETF中，半导体设备（884229）ETF易方达(159558，联接A/C：021893/021894)受资金青睐，昨日单日净流入超6亿元。