上证报中国证券网讯 5月12日，ETF午间收盘涨跌不一，科创半导体设备ETF(588710)领涨2.26%，科创半导体ETF(588170)涨2.20%，科创半导体设备ETF(589020)涨2.09%，稀土ETF(159713)领跌3.44%，稀土ETF(516150)跌3.38%。

行业ETF方面，科创半导体（881121）相关ETF涨幅居前，其中，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）涨2.26%，成交额1.93亿元；科创半导体ETF华夏（588170）涨2.20%，成交额10.22亿元；科创半导体设备ETF鹏华（589020）涨2.09%，成交额7818万元。