4月21日，易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）份额较前一日增长7400.00万份，环比增长2.9%，资金流入2.40亿元，资金流出1.70亿元。该基金最近一周涨3.87%，近一个月上涨9.36%。
数据显示，该基金成立于2024年6月6日，基金经理为李栩，基金跟踪指数为半导体材料（884091）设备，业绩比较基准为中证半导体材料（884091）设备主题指数收益率，最新披露的定期数据显示，截止2025年12月31日，该基金第一大重仓股北方华创（002371），持股数49.35万股，持仓市值22654.45万元。
具体前十大重仓股如下表所示：
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| 基金前十重仓股（按占净值比例）一览表 | ||||
| 股票简称 | 股票代码 | 持股数（万股） | 持仓市值（万元） | 占净值比例（%） |
|---|---|---|---|---|
| 北方华创（002371） | 002371 | 49.35 | 22654.45 | 14.100 |
| 中微公司（688012） | 688012 | 79.08 | 21567.65 | 13.420 |
| 拓荆科技（688072） | 688072 | 34.05 | 11220.85 | 6.980 |
| 长川科技（300604） | 300604 | 89.28 | 9045.31 | 5.630 |
| 沪硅产业（688126） | 688126 | 388.69 | 8351.41 | 5.200 |
| 华海清科（688120） | 688120 | 50.40 | 7487.72 | 4.660 |
| 中科飞测（688361） | 688361 | 42.34 | 6477.99 | 4.030 |
| 南大光电（300346） | 300346 | 139.23 | 5972.80 | 3.720 |
| 安集科技（688019） | 688019 | 23.78 | 5181.92 | 3.230 |
| 芯源微（688037） | 688037 | 32.51 | 4827.81 | 3.000 |
