博时中证半导体产业ETF 的基金机构持有 0.07亿份，占总份额的 5.63% ，个人投资者持有 1.16 亿份，占总份额的 94.37%
| 报告日期 | 机构持有份额（亿份） | 机构持有比例（%） | 个人持有份额（亿份） | 个人持有比例（%） | 总份额（亿份） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2025-12-31 | 0.07 | 5.63 | 1.16 | 94.37 | 1.23 |
| 2025-06-30 | 0.17 | 12.69 | 1.15 | 87.31 | 1.32 |
| 2024-12-31 | 0.11 | 6.86 | 1.51 | 93.14 | 1.62 |
| 2024-06-30 | 0.10 | 26.45 | 0.27 | 73.55 | 0.36 |